超純水的制備主要包括:預脫鹽和精處理脫鹽兩大部分。預脫鹽常常采用離子交換工藝和反滲透工藝。而預脫鹽后續的精脫鹽則根據目標水質的要求而有所不同,對超高純水,一般采用EDI技術;而對要求低一點的純水,可采用混床技術。